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本技术涉及一种晶圆清洗辊，包括轴芯，轴芯为中部设有中空通道，中空通道一端封闭，一端与设有与外界连通的进液孔，轴芯的外侧设有加强筋，轴芯设有连通中空通道与轴芯外侧的出液孔，所述海绵套套接在轴芯加强筋的外侧，在轴芯的外侧设置加强筋，在将海绵套套...
该专利属于瑞鑫泰精密部件（惠州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞鑫泰精密部件（惠州）有限公司授权不得商用。

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