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金刚石成膜方法、金刚石成膜装置、程序和金刚石材料制造方法及图纸
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下载金刚石成膜方法、金刚石成膜装置、程序和金刚石材料的技术资料
文档序号:40756688
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金刚石成膜方法包括:基底层形成工序,通过利用了包含铱的第一原料气体的CVD法形成基底层(22);以及金刚石层形成工序,通过利用了包含烃气体的第二原料气体的CVD法在基底层(22)上形成单晶的金刚石层(23)。...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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