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一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiNx保护层及其制备方法和应用技术
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文档序号:40750577
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本发明公开了一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiN<subgt;x</subgt;保护层及其制备方法和应用,属于氢气纯化技术领域。所述抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiN<subgt;x</subgt;保护层由Ti...
该专利属于齐鲁工业大学(山东省科学院)所有,仅供学习研究参考,未经过齐鲁工业大学(山东省科学院)授权不得商用。
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