下载一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiNx保护层及其制备方法和应用的技术资料

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本发明公开了一种抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiN<subgt;x</subgt;保护层及其制备方法和应用,属于氢气纯化技术领域。所述抗杂质气体毒害的钯基复合膜表面TiN<subgt;x</subgt;保护层由Ti...
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