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本发明涉及一种镀锅、镀膜装置和镀锅调节系统。所述镀锅包括：镀锅主体，所述镀锅主体内设有蒸镀孔；晶片固定组件，设于所述蒸镀孔内，并与所述镀锅主体旋转连接，所述晶片固定组件用于承载并固定待蒸镀晶圆片；固定件，在所述固定件分别与所述镀锅主体、所述...
该专利属于重庆康佳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电科技有限公司授权不得商用。

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