下载一步原位可控制备高质量多层石墨烯的方法的技术资料

文档序号:40743713

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本发明介绍一种一步原位可控制备高质量多层石墨烯的方法,包括如下步骤:在金属衬底的表面制备首层石墨烯膜;使首层石墨烯膜破损,形成分布均匀的裂纹或孔洞,金属衬底在裂纹或孔洞处裸露;在裸露金属衬底的催化裂解作用下,碳源气体在裸露金属衬底表面形成活...
该专利属于常州第六元素半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州第六元素半导体有限公司授权不得商用。

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