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本发明涉及一种载置台机构和采用该机构的等离子体处理装置，通过减小向吸盘电极施加直流电压时和切断直流电压时的吸盘等效电路的时间常数，迅速进行电荷的蓄积和电荷的释放。该载置台机构载置被处理体（Ｗ），设在处理容器（５２）内，包括载置台（８４）、内...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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