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一种氮化镓基垂直结构发光二极管转移衬底的腐蚀方法，包括：步骤１：选择一外延结构，该外延结构包括蓝宝石衬底和氮化镓ＬＥＤ层；步骤２：在氮化镓ＬＥＤ层上采用电镀或键合的方法制作一转移衬底；步骤３：减薄转移衬底，然后抛光；步骤４：用激光刻划方法在...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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