下载氮化镓基垂直结构发光二极管桥联电极制备方法的技术资料

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一种氮化镓基垂直结构发光二极管芯片桥联电极制备方法,包括:取一具有蓝宝石衬底的氮化镓LED外延片,将该具有蓝宝石衬底的氮化镓LED外延片上的外延层的四周刻蚀,形成第一台面;在第一台面上的外延层的四周制作侧壁绝缘薄膜,该侧壁绝缘薄膜并覆盖外延...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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