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一种光学检验系统包含用于将从目标散射的光的偏振从跨收集光瞳在空间上变化的椭圆偏振转换成跨所述收集光瞳一致定向的线性偏振的一或多个光栅。在一些实施例中，所述一或多个光栅是单材料光栅。在一些实施例中，所述一或多个光栅包含反射衬底上的至少一个光栅...
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