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本技术涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种清洗设备，包括晶圆清洗单元、缓冲区、摄像头、抓手组件单元和控制处理器，晶圆清洗单元用于清洗晶圆，缓冲区用于临时放置已清洗晶圆，摄像头用于采集晶圆卡环上二维码编号信息，抓手组件单元用于将晶圆清洗单元上...
该专利属于成都先进功率半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都先进功率半导体股份有限公司授权不得商用。

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