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本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种防漏电抗辐射CMOS器件及其制备方法,制备方法包括如下步骤:(1)制备改性密胺树脂溶液:称取改性微球加入至预聚密胺树脂溶液内,同时加入聚乙二醇(PEG‑400),升温至85‑95℃,保温搅拌1‑2h...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种防漏电抗辐射CMOS器件及其制备方法,制备方法包括如下步骤:(1)制备改性密胺树脂溶液:称取改性微球加入至预聚密胺树脂溶液内,同时加入聚乙二醇(PEG‑400),升温至85‑95℃,保温搅拌1‑2h...