下载贴合晶片的加工方法和加工装置的技术资料

文档序号:40672238

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供贴合晶片的加工方法和加工装置,能够解决倒角部的去除耗费时间因而生产率差的问题,并且能够解决对另一方的晶片造成损伤的问题。贴合晶片的加工方法包含如下的工序:改质层形成工序,将对于第一晶片具有透过性的波长的激光光线的聚光点从第一晶片的...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。