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光检测装置及光检测装置的控制方法制造方法及图纸
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下载光检测装置及光检测装置的控制方法的技术资料
文档序号:40671989
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本发明的光检测装置具备:光检测器;与光检测器热连接的热交换器;与热交换器连接,并且用于冷却光检测器的冷却液所流通的冷却液流路;在冷却液流路中使冷却液流通的泵;以及控制泵的控制部。控制部,以在光检测器进行光检测的检测期间,将第1驱动电力供给到...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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