光检测装置及光检测装置的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术的光检测装置具备：光检测器；与光检测器热连接的热交换器；与热交换器连接，并且用于冷却光检测器的冷却液所流通的冷却液流路；在冷却液流路中使冷却液流通的泵；以及控制泵的控制部。控制部，以在光检测器进行光检测的检测期间，将第1驱动电力供给到泵，在光检测器不进行光检测而待机的待机期间，将第2驱动电力供给到泵的方式，且，以第1驱动电力小于第2驱动电力的方式进行控制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及一种光检测装置及光检测装置的控制方法。

技术介绍

1、在光检测装置的领域中，在进行利用光检测器的光检测时，存在随着光检测器的温度上升，因热电子而引起的暗电流增大的倾向。这样，当暗电流增大时，光检测器的s/n比降低，因此，有可能产生例如来自光检测器的检测信号的可靠性的降低这样的、光检测装置的检测精度的降低。因此，为了谋求光检测装置的检测精度的提高，冷却光检测器而降低热电子的影响是重要的。例如，专利文献1公开了可由冷却液的循环冷却光检测器的液冷方式的冷却机构。在该液冷方式的冷却机构中，能够通过使由泵的驱动循环的冷却液在与光检测器之间进行热交换，冷却光检测器。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2014-052660号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的技术问题

2、但是，在上述那样的液冷方式的冷却机构中，在泵进行送出冷却液的动作时，在冷却液的流动中产生脉动，来自脉动的振动可能传递到光检测器、以及使用光检测装置的测定装置等。在该情本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光检测装置，其中，

2.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，

3.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光检测装置，其中，

5.根据权利要求4所述的光检测装置，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光检测装置，其中，

7.根据权利要求4或5所述的光检测装置，其中，

8.根据权利要求5或7所述的光检测装置，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的光检测装置，其中，

10.根据权利要求9所述的光检测装置，其中，

11...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光检测装置，其中，

2.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，

3.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光检测装置，其中，

5.根据权利要求4所述的光检测装置，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光检测装置，其中，

7.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木健太，石川胜也，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：