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本申请涉及一种用于表征粒子束装置(100)的屏蔽元件(C)的方法，该屏蔽元件用于屏蔽样本位置和粒子束源(101)之间的电场。该方法包括：将用于表征该屏蔽元件的表征装置(S1、S2、S3)定位在屏蔽元件的面向样本位置的一侧上。...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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