下载半导体装置的技术资料

文档序号:40664166

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实施方式涉及半导体装置。半导体装置具备:第一电极;第二电极;第三电极,配置于第一电极与第二电极之间,沿第一方向延伸,具有第一部分和第二部分;第一导电型的第一半导体层,连接于第一电极,隔着绝缘层而与第一部分对置,且包含硅及碳;第一导电型的第二...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。

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