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本发明提供一种2.5D封装结构的制备方法,完成半导体衬底第一表面的焊盘制备后,直接于所述焊盘上进行芯片的倒装及形成塑封材料层,提供支撑衬底并将其键合至所述塑封材料层上,翻转并减薄所述半导体衬底,于半导体衬底第一表面上制备金属凸块阵列后去除所...该专利属于盛合晶微半导体(江阴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛合晶微半导体(江阴)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种2.5D封装结构的制备方法,完成半导体衬底第一表面的焊盘制备后,直接于所述焊盘上进行芯片的倒装及形成塑封材料层,提供支撑衬底并将其键合至所述塑封材料层上,翻转并减薄所述半导体衬底,于半导体衬底第一表面上制备金属凸块阵列后去除所...