下载一种用于芯片封装的制作方法及芯片的技术资料

文档序号:40650953

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

发明涉及一种用于芯片封装的制作方法及芯片,用于芯片封装的制作方法包括:在粘结并减薄完成的晶圆正面,沉积阻挡层,阻挡层为SIN、SIC和NDC材料中的一种或多种;在阻挡层上沉积氧化层;S30,通过刻蚀工艺形成硅通孔,硅通孔的深度为到达需要连接...
该专利属于物元半导体技术(青岛)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过物元半导体技术(青岛)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。