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本发明提供了一种延长蚀刻装置寿命的处理方法，所述处理方法包括：采用滚花轮由内到外对所述蚀刻装置的内壁表面进行滚花处理，形成花纹结构。所述处理方法在蚀刻装置的内壁表面利用滚花轮由内到外碾压成型的方式，并结合特定范围的滚花轮下压量、蚀刻装置的转...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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