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本技术提供一种晶圆卡盘清洁装置及晶圆退火机台。所述晶圆卡盘清洁装置位于一机台的腔室内，所述机台包括第一管路及第二管路；所述晶圆卡盘清洁装置包括：清洁气路，与所述第一管路连接，用于将所述第一管路提供的第一气体转变为清洁气体后输出；控制气路，与...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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