下载一种半导体结构及其制备方法、半导体存储器的技术资料

文档序号:40634517

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本公开实施例提供了一种半导体结构及其制备方法、半导体存储器,该半导体结构包括:衬底;形成于衬底上方的堆叠结构;其中,堆叠结构包括多个器件结构和多个字线结构,器件结构沿第一方向延伸,字线结构沿第二方向延伸;器件结构依次包括电容区和有源区;形成...
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