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全玻璃原子气室及其制备方法技术
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下载全玻璃原子气室及其制备方法的技术资料
文档序号:40610210
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本发明属于原子光学领域,提供一种全玻璃原子气室及其制备方法。该方法包括以下步骤:(1)提供玻璃基板、第一玻璃和第二玻璃;(2)采用激光切割及湿法蚀刻工艺对玻璃基板进行加工,以在玻璃基板上形成气室通孔、内部沟道和气孔通孔;(3)对玻璃基板的第...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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