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本发明提供一种MEMS传感器及其敏感结构的释放方法，该传感器上封装有多个未释放MEMS敏感结构，每个未释放MEMS敏感结构包括悬臂梁、固定于悬臂梁上的加热电极和读出电极，以及悬空设置于悬臂梁上的质量块，质量块的第一端与读出电极的电极接头连接...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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