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公开了一种入口组件、一种减排设备和一种方法。该入口组件用于减排设备，该减排设备用于处理来自半导体加工工具的排出流，并且该入口组件包括：燃烧室模块，所述燃烧室模块限定气室，所述气室被构造成将燃烧剂供应到其燃烧室，所述燃烧室模块具有安装件，所述...
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