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本公开涉及一种喷淋头、沉积设备及其工作方法，喷淋头包括出气面板以及位置调整机构。出气面板包括从出气面板的中心至外围的方向上依次间隔设置的多个出气部。位置调整机构为至少一个，并与至少一个出气部对应相连，位置调整机构用于驱动出气部在第一方向上以...
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