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本公开涉及一种PECVD气体喷淋件、成膜系统及制造方法，该气体喷淋件包括喷淋主体，喷淋主体包括进气板、排气板以及形成在进气板和排气板之间的布气腔，进气板上形成与布气腔连通的进气流道，排气板上形成有与布气腔连通的多个第一排气孔，喷淋主体一体成...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

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