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本发明属于传感器技术领域，公开了一种具有N个频率梳齿的谐振响应MEMS集成声压/振速敏感芯片及其工作方法。所述框架基座(1)上设置N个频率梳齿单元(2)，所述N个频率梳齿单元(2)之间以及N个频率梳齿单元(2)与框架基座(1)之间设有间隙(...
该专利属于哈尔滨工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。

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