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微型半导体芯片的巨量转移方法和巨量转移设备技术
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文档序号:40595826
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本公开涉及一种微型半导体芯片的巨量转移方法和巨量转移设备。该巨量转移多个微型半导体芯片的方法包括:将多个第一微型半导体芯片巨量转移到第一基板上,使得它们设置在第一基板的多个第一凹槽中;确定是否存在空的第一凹槽;以及将第二微型半导体芯片定位在...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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