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本说明书实施例一种真空规，涉及压力测试技术领域。真空规包括压力传感器、规前管及抑制沉积结构，通过在规前管中设置抑制沉积结构，可以有效抑制流入规前管气体流中的污染物质接触压力传感器的应变膜片。即气体流导过程中多次接触叶板表面，提前发生沉积，减...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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