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一种半导体结构及其制造方法，所述半导体结构包括：衬底；栅极结构，位于所述衬底上；第一侧墙层，包括第一子部和第二子部，所述第一子部覆盖部分所述衬底，所述第二子部覆盖所述栅极结构的侧壁；第二侧墙层，位于所述第一子部上且覆盖所述第二子部的侧壁；载...
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