下载半导体结构、半导体结构的制造方法和半导体器件的技术资料

文档序号:40595672

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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构、半导体结构的制造方法和半导体器件,半导体结构包括:基板,所述基板具有凹槽和供电引脚;存储模块,位于所述凹槽内;所述存储模块包括在第一方向堆叠的多个存储芯片,所述第一方向平行于所述凹槽的底面;每...
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