下载多羟基酚化合物及其制备方法、重氮萘醌磺酸酯及其制备方法和光刻胶组合物的技术资料

文档序号:40595551

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本发明提供了多羟基酚化合物及其制备方法、重氮萘醌磺酸酯及其制备方法和光刻胶组合物。该多羟基酚化合物具有如下式(I)所示结构。采用本申请提供的多羟基酚化合物作为中间体制备得到的重氮萘醌磺酸酯作为光敏剂应用于光刻胶组合物中,得到的光刻胶不仅具备...
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