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本发明公开了一种用于大面积膜厚测量的姿态反馈与调整装置，包括膜厚仪、移动模块、姿态监测模块与姿态调整模块；所述膜厚仪和姿态调整模块分别安装在移动模块上，所述姿态监测模安装在膜厚仪上。本发明针对大面积连续扫描膜厚测量中膜厚仪姿态误差问题，通过...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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