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本发明涉及一种抛光方法可调式高效抛光装置，力加载装置模块设置在整个装置最上方，椭圆超声振动模块设置在力加载装置模块下方，其超声波换能器连接外界超声波发生器，通过两个超声波变幅杆上下移动，合成为一个二维椭圆运动轨迹，进而使铜制连接片获得椭圆超...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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