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本发明公开了一种CMP金刚石盘清洁装置，所述清洁装置包括：清洁腔和超声发生器，所述超声发生器设置于所述清洁腔底板之上，所述清洁腔内盛放有清洗液，待清洁处理的金刚石盘浸没于所述清洗液内，所述清洗液基于超声发生器产生的超声波完成对金刚石盘上凝结...
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