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提供了一种用于为反应性沉积工艺、反应性沉积设备、及反应性沉积方法提供气体的蒸发系统。蒸发系统包括用于单侧或双侧连续辊到辊或分批涂覆卷材基板的多区扩散器组件。扩散器组件的大小经调节为容纳涂覆滚筒的至少一部分。扩散器组件包括用于朝向卷材基板递送...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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