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具有支撑层的半导体元件制造技术
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下载具有支撑层的半导体元件的技术资料
文档序号:40589020
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本申请公开一种半导体元件,包括多个漏极区,于基底中;多个电容器插塞,于多个漏极区上;多个下层电极,于多个电容器插塞上,并分别包括U形截面轮廓;下部支撑层,于基底之上,靠在多个下层电极的外表面上,并包括多个第一开口,沿下部支撑层,并在多个下层...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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