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在一个示例性实施方式中，提供一种基板处理装置。基板处理装置具备处理腔室、基板支撑台、第1供给管、第2供给管、第1隔壁、第2隔壁、第1回收管、第2回收管、压电元件、第1热电元件及驱动电路。第2供给管构成为向第2凹部供给传热介质。压电元件配置于...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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