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所公开的实施方式尤其描述一种系统及方法，其由光束扫描基板并针对基板的一组位置中的每一者侦测与从基板反射(或透射穿过基板)的光束相关联的一组强度值中的相应者。所侦测到的强度值用以决定基板的厚度的概况。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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