下载一种半球谐振陀螺平板电极金属膜层镀制装置和方法的技术资料

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本发明公开了一种半球谐振陀螺平板电极金属膜层镀制装置和方法,包括公转平台(2)、自转平台、平板电极夹具(7)、侧壁掩膜遮挡板(3),所述自转平台安装在公转平台(2)上,公转平台(2)能带动自转平台绕轴线(1)作圆周转动,所述平板电极夹具(7...
该专利属于北京自动化控制设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京自动化控制设备研究所授权不得商用。

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