下载一种光敏神经突触薄膜晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:40576350

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本发明公开了一种光敏神经突触薄膜晶体管包括:衬底;栅电极,栅电极形成于所述衬底上;栅介质层,栅介质层形成于所述栅电极上;沟道层,沟道层形成与所述栅介质层上,所述沟道层为锌锡氧氮氟薄膜;源电极和漏电极,所述源电极和漏电极形成于沟道层上,且源电...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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