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本发明提供一种能够在抑制成本的同时提高检测精度的基板处理装置及刷子的脱落检测方法。由于检测部(DU)检测到最大压入高度(H3)，所以控制部能够判断成刷子(99)已经脱落。由于检测部(DU)是基于按压机构(81)的动作检测到达了最大压入高度(...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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