【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使刷子作用于半导体基板、液晶显示用或有机el(electroluminescence，电致发光)显示装置等的fpd(flat panel display，平板显示器)用基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等基板而进行清洗处理的基板处理装置及刷子的脱落检测方法。
技术介绍
1、以往，作为这种装置，具有具备基板保持旋转机构、清洗部、摆动臂和光学式刷子传感器的装置(例如参照专利文献1)。
2、基板保持旋转机构在以水平姿势保持基板的同时使基板旋转。清洗部具备握持部件和刷子。刷子经由握持部件被安装于旋转轴。旋转轴能够升降地安装于摆动臂的前端部。清洗部通过旋转轴与握持部件一起绕铅垂轴旋转。摆动臂在基板的上方在面方向上摆动。摆动臂使刷子在基板的上表面上摆动。
3、基板处理装置经由旋转轴赋予按压，使得从刷子作用于基板的力成为目标载荷。基板处理装置使刷子以目标载荷作用于基板的上表面，在将处理液等供给到基板的同时使摆动臂摆动。由此，清洗基板的上表面整体。
4、光学式刷子传感器在摆动臂上所安装的清洗部的外周方向隔开间隔地设置。光学式刷子传感器从侧方监视刷子。具体而言，通过光学传感器确认刷子是否未从握持部件脱落。在刷子没有脱落的情况下，进行针对基板的清洗，在刷子脱落的情况下，不进行针对基板的清洗。由此，能够避免进行刷子脱落的状态下的不恰当清洗的事态。
5、现有技术文献
6、专利文献
7、专利文献1
8、日本专利第4634426号公报
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1、但是，在具有这样的结构的以往例的情况下，存在如下那样的问题。
2、即，以往的装置采用的是从清洗部的外周方向水平地照射光来检测有无刷子的结构。因此，为了防止因从刷子向外周方向飞散的处理液导致不良情况发生而需要以耐药性的材料构成。因此，具有制造成本增加这一问题。
3、另外，有清洗液附着于光学式刷子传感器而导致光散射的隐患。因此，具有容易发生错误检测这一问题。
4、本专利技术是鉴于这样的情况而做出的，其目的在于提供一种能够在抑制成本的同时提高检测精度的基板处理装置及刷子的脱落检测方法。
5、本专利技术为了实现这样的目的而采用如下那样的结构。
6、即，方案1所记载的专利技术为一种基板处理装置，使刷子相对于基板作用而清洗基板，该基板处理装置的特征在于，具备：旋转保持部，其以水平姿势保持基板，并且使基板旋转；刷子，其作用于上述旋转保持部所保持的基板的上表面；刷子保持件，其将上述刷子装拆自如地安装；按压机构，其使上述刷子保持件在无载荷高度、作用高度和最大压入高度的范围内移动，其中该无载荷高度是距上述基板的上表面最高、且不会使上述刷子相对于上述基板作用的高度，该作用高度是比上述无载荷高度低、且使上述刷子以规定载荷作用于上述基板的高度，该最大压入高度是比上述作用高度低、且使上述刷子移动到最低位置的高度；检测部，其基于上述按压机构的动作，检测到达了上述最大压入高度这一情况；以及控制部，其在基板载置于上述旋转保持部的状态下，对上述按压机构进行操作而使上述刷子移动到上述作用高度时，在上述检测部检测到上述最大压入高度的情况下，判断成上述刷子已经脱落。
7、[作用、效果]根据方案1所记载的专利技术，假设在基板载置于旋转保持部、且刷子从刷子保持件脱落的状态下，控制部要对按压机构进行操作，使刷子移动到作用高度。于是，由于刷子脱落，所以在刷子保持件上不会产生与规定载荷相等的来自基板的反作用力。因此按压机构会继续移动刷子保持件，从而到达最大压入高度。因此，由于检测部检测到最大压入高度，所以控制部能够判断成刷子已经脱落。由于检测部是基于按压机构的动作检测到达了最大压入高度这一情况，所以能够将检测部配置到不会接触到飞散的处理液的部位。因此，无需以耐药性的材料构成检测部。其结果为，能够抑制成本。另外，由于没有处理液附着于检测部而导致光散射的隐患，所以能够提高检测精度。
8、另外，在本专利技术中，优选的是，上述按压机构具备：杠杆部件，其构成为能够以支点部件为支点摆动，且相对于上述支点在一侧具备力点部，相对于上述支点在另一侧具备作用点部；和按压用致动器，其通过将基于空气的驱动力赋予给上述力点部，并以上述支点为中心使上述杠杆部件摆动，来赋予用于将上述刷子按压于基板的上表面的按压，上述检测部设在上述杠杆部件的上述力点部侧，对与上述最大压入高度相对应的上述力点部侧的高度进行检测(方案2)。
9、检测部配置在离与处理液接触的刷子最远的位置。因此，无需考虑因处理液产生的不良影响，从而能够针对检测部的配置提高自由度。
10、另外，在本专利技术中，优选的是，上述按压机构具备：旋转轴，其与上述刷子保持件的上部连结；和按压用致动器，其使上述旋转轴朝向基板的上表面进退，赋予用于将上述刷子按压于基板的上表面的按压，上述检测部设在能够检测上述旋转轴的高度的位置，对与上述最大压入高度相对应的上述旋转轴的高度进行检测(方案3)。
11、若在到检测部为止夹设有复杂的机构，则会产生因该机构的故障等而错误检测的隐患。但是，由于是检测距刷子近的旋转轴的高度，所以能够可靠地检测旋转轴的高度。
12、另外，在本专利技术中，优选的是，上述控制部在判断成上述刷子已经脱落的情况下，即刻停止针对由上述旋转保持部保持且在处理中的基板的处理(方案4)。
13、由于刷子脱落，所以在检测到的时点即刻停止处理。因此，能够防止无谓地进行处理。与之相随地，能够防止处理液浪费，节约电力。
14、另外，方案5所记载的专利技术为刷子的脱落检测方法，在使刷子相对于基板作用而清洗基板时检测有无上述刷子，上述刷子的脱落检测方法的特征在于，具备如下过程：移动过程，在基板载置于旋转保持部的状态下，利用在无载荷高度、作用高度和最大压入高度的范围内移动将上述刷子装拆自如地安装的刷子保持件的按压机构，经由上述刷子保持件使上述刷子移动到上述作用高度，其中该无载荷高度是距上述基板的上表面最高、且不使上述刷子相对于上述基板作用的高度，该作用高度是比上述无载荷高度低、且使上述刷子以规定载荷作用于上述基板的高度，该最大压入高度是比上述作用高度低、且使上述刷子移动到最低位置的高度；以及判断过程，在使上述刷子移动到上述作用高度时，在基于上述按压机构的动作而由检测部检测出到达了上述最大压入高度的情况下，判断成上述刷子已经脱落。
15、[作用、效果]根据方案5所记载的专利技术，假设在移动过程中，要通过按压机构经由刷子保持件使刷子移动到作用高度。于是，由于刷子脱落，所以刷子保持件中不会产生与规定载荷相等的来自基板的反作用力。因此按压机构会继续移动刷子保持件，从而到达最大压入高度。因此，由于检测部检测到最大压入高度，所以在判断过程中，能够判断成刷子已经脱落。由于检测部是基于按压机构的动作检测到达了最大压入高度这一情况，所以能够将检测部配置在不会接触到飞散的处理液的部位。因此，无需以耐药性的材料构成检测部。其结果为，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基板处理装置，使刷子相对于基板作用而清洗基板，所述基板处理装置的特征在于，具备：
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
4.如权利要求1至3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，
5.一种刷子的脱落检测方法，在使刷子相对于基板作用而清洗基板时检测有无所述刷子，所述刷子的脱落检测方法的特征在于，具备如下过程：
6.如权利要求5所述的刷子的脱落检测方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，使刷子相对于基板作用而清洗基板，所述基板处理装置的特征在于，具备：
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
4.如权利要求1至3中...
【专利技术属性】
技术研发人员：安武阳介，石川道明，大野拓也，野野村秋人，春名大树，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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