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本发明涉及一种向基板的下表面喷射流体而将基板在浮起状态下保持为水平姿势，并在基板的上表面涂布处理液的涂布装置，提供能够应对基板尺寸不同的多种基板的技术。本发明所涉及的涂布装置利用保持部保持基板的周缘部，并利用浮起机构向基板下表面中央部喷射流...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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