【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种通过向基板的下表面喷射流体而使基板在浮起状态下保持为水平姿势，并在基板的上表面涂布处理液的涂布装置。另外，上述基板包括半导体基板、光掩模用基板、液晶显示用基板、有机el显示用基板、等离子体显示用基板、fed(fieldemission display：场致发射显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板等。
技术介绍
1、在半导体装置、液晶显示装置等电子器件等的制造工序中，使用向基板的表面上供给例如抗蚀剂液那样的液体，并将该液体涂布在基板上的涂布装置。例如日本特开2018-113329号公报(专利文献1)所记载的涂布装置，一边在使基板浮起的状态下搬送该基板，一边将液体送给狭缝喷嘴，将液体从狭缝喷嘴的喷出口喷出到基板的表面，从而涂布在基板的大致整体上。
2、在该涂布装置中，从与基板的下表面中央部相对的浮起台的上表面喷射气体而使基板浮起，并利用卡盘机构吸附保持基板的周缘部。由此，使基板的姿势稳定，并且在水平的搬送方向上搬送基板。这样，即使是大尺寸的基板，也能够精密地控制在与喷嘴相对的位置的姿势，使涂布膜的厚度均匀。
3、在这种基板的制造现场中，除了标准化的标准尺寸的基板之外，有时还使用外形尺寸与其稍有不同的基板。例如，在液晶显示面板制造用玻璃基板中，制作几个派生尺寸(例如2200mm×2500mm)，其长度和宽度中的至少一方相对于一般被称为g8尺寸的2160mm×2460mm的基板尺寸相差几十mm。
4、另一方面，在涂布装置中，针对特定尺寸的基板使设计最优化。特别是在如上
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种在使基板浮起并在上表面涂布处理液的涂布装置中，能够应对基板尺寸不同的多种基板的技术。
2、本专利技术所涉及的涂布装置的一个方式，具备：保持部，保持基板的周缘部而将所述基板保持为水平；浮起机构，从与由所述保持部保持的所述基板的下表面中央部相对配置的上表面喷出流体，将所述基板支承为浮起状态且水平姿势；移动机构，使所述保持部在水平方向上移动，搬送被所述浮起机构支承的所述基板；以及喷嘴，与由所述浮起机构支承的所述基板的上表面相对配置，向所述基板的上表面喷出处理液。
3、其中，所述保持部具有：一对行进构件，分别对应于所述基板的与所述基板的搬送方向正交的宽度方向上的两端部而设置；以及保持构件，与所述行进构件分体构成。所述一对行进构件通过所述移动机构在所述搬送方向上移动，所述保持构件在所述一对行进构件的每一个上至少各安装一个，并保持所述宽度方向上的所述基板的端部。在所述一对行进构件中的至少一方中，所述保持构件相对于所述行进构件的安装位置能够在所述搬送方向及所述宽度方向中的至少一方多级或连续地变更。
4、在这样构成的专利技术中，能够变更保持构件相对于行进构件的安装位置。因此，通过变更保持构件的位置，能够针对尺寸不同的各种基板支承该基板的周缘部。
5、专利技术的效果
6、如上所述，在本专利技术中，在保持基板的周缘部的保持部中，构成为能够变更保持构件相对于行进构件的安装位置。因此，能够应对基板尺寸不同的多种基板。
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1.一种涂布装置，其中，具备：
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其中，
4.根据权利要求2所述的涂布装置，其中，
5.根据权利要求2所述的涂布装置，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的涂布装置，其中，
7.根据权利要求1至5中任一项所述的涂布装置，其中，
8.根据权利要求7所述的涂布装置，其中，
【技术特征摘要】
1.一种涂布装置，其中，具备：
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其中，
4.根据权利要求2所述的涂布装置，其中，
5.根据权...
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