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公开了减排设备和方法。减排设备用于减排来自半导体加工工具的废气流，且包括：燃烧室，由有孔套筒和与有孔套筒流体地联接的润湿套筒形成，有孔套筒限定燃烧室的上游部分，用于处理废气流，燃烧室的上游部分具有用于接收废气流的入口，润湿套筒限定燃烧室的下...
该专利属于埃地沃兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹有限公司授权不得商用。

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