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提供由式1表示的羧酸盐、包括其的光致抗蚀剂组合物、和通过使用光致抗蚀剂组合物形成图案的方法。其中，在式1中，A<subgt;11</subgt;、R<subgt;11</subgt;‑R<subgt;15<...
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