下载可重构且双向增强的法诺谐振器及光电器件的技术资料

文档序号:40554056

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本发明提供一种可重构且双向增强的法诺谐振器,包括:第一传输波导、一分二耦合器、内嵌马赫增德尔干涉仪的上下话路微环谐振器、第二传输波导、第三传输波导及波导上热电极,波导上热电极布置在第三传输波导上方;第一传输波导、第二传输波导、第三传输波导用...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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