可重构且双向增强的法诺谐振器及光电器件制造技术

本发明专利技术提供一种可重构且双向增强的法诺谐振器，包括：第一传输波导、一分二耦合器、内嵌马赫增德尔干涉仪的上下话路微环谐振器、第二传输波导、第三传输波导及波导上热电极，波导上热电极布置在第三传输波导上方；第一传输波导、第二传输波导、第三传输波导用于正向或逆向传输光信号；一分二耦合器用于正向传输时对光信号分束或逆向传输时对光信号合束；波导上热电极用于对第三传输波导正向或逆向传输的光信号进行相位调节，提供法诺共振所需的非对称相位谱；内嵌马赫增德尔干涉仪的上下话路微环谐振器用于对正向传输的光信号或逆向传输的光信号产生法诺共振及调控法诺共振谱。该法诺谐振器实现了双向法诺共振谱线的精细调控，增加了可重构维度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅基光电子学领域，特别涉及一种可重构且双向增强的法诺谐振器。

技术介绍

1、光学共振中一个特殊的现象是法诺共振，通常发生在离散局部态与连续态相互耦合干涉时，此时典型的洛伦兹对称谱线将被打破。法诺共振谱线具有明显的非对称性，往往表现出非常陡峭的形状，谱线的功率最高点与最低点间波长差极小，即谱线斜率非常大。正是由于法诺共振谱线的陡峭特性，其极具潜力被应用于超低功耗光开关、高灵敏的光传感、微波频率实时监测、光学时域微分等众多场景中。

2、近年来，基于光子晶体、等离子体纳米结构、狭缝波导、光栅辅助型微环、级联微环等多种结构的法诺共振现象已均有报道。然而，这些法诺谐振器的共振谱线均无法实现精确调控和调节，且诸如光子晶体等结构的制作工艺复杂，很难形成品质因子很高的谐振腔，从而很难形成斜率较大的陡峭谱线。因此，如何实现法诺共振谱线的精细调控和可重构，如何在单一器件内提供多向增强的法诺共振谱线，对研究并提升法诺共振器的性能至关重要，也是当前学术界和业界的研究热点。

技术实现思路

1、本专利技术提供了本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，在正向传输的情况下：

3.根据权利要求1或2所述的可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，所述内嵌马赫增德尔干涉仪的上下话路微环谐振器(3)包括：

4.根据权利要求3所述的可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，所述马赫增德尔干涉仪(9)包含两个波导耦合区(10)、马赫增德尔干涉仪双臂(11)和马赫增德尔干涉仪臂上热电极(12)，所述马赫增德尔干涉仪臂上热电极(12)布置在马赫增德尔干涉仪臂(11)的上方；

5.根...

【技术特征摘要】

1.一种可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，在正向传输的情况下：

3.根据权利要求1或2所述的可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，所述内嵌马赫增德尔干涉仪的上下话路微环谐振器(3)包括：

4.根据权利要求3所述的可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，所述马赫增德尔干涉仪(9)包含两个波导耦合区(10)、马赫增德尔干涉仪双臂(11)和马赫增德尔干涉仪臂上热电极(12)，所述马赫增德尔干涉仪臂上热电极(12)布置在马赫增德尔干涉仪臂(11)的上方；

5.根据权利要求4所述的可重构且双向增强的法诺谐振器，其特征在于，所述马赫增德尔干...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈蓓，刘宇，李明，祝宁华，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：