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本发明提供一种射束检测器、多带电粒子束照射装置以及射束检测器的调整方法，使两级孔径的孔高精度地对位。本实施方式的射束检测器具备：第1孔径基板，形成有比多带电粒子束的射束间间距小的第1通过孔；第2孔径基板，形成有通过上述第1通过孔后的1根检测...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。

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